Программные средства классификации дефектов топологии, обнаруживаемых в результате автоматического контроля топологических слоев полупроводниковых пластин

Краткое описание	Программные средства предназначены для контроля технологического процесса производства интегральных микросхем. В Республике Беларусь УП «КБТЭМ-ОМО» ГНПО ТМ «Планар» выпускает целый ряд автоматических контрольных и измерительных комплексов, используемых как при разработке и исследованиях новых технологий и приборов в микроэлектронике, так и в серийном производстве. Результатом работы такого комплекса является набор локализованных дефектов. Необходимость в определении вида дефекта для последующего анализа и настройки техпроцесса определяет актуальность разработки программных средств классификации дефектов (ПСКД). ПСКД ориентированы на совместную работу с установками автоматического контроля полупроводниковых пластин методом сравнения соседних изображений (die-to-die или cell-to–cell) на стадии формирования топологического рисунка в технологических слоях (фоторезист, металл, поликремний, нитрид, окисел и кремний). Технические характеристики: Размер минимального обнаруживаемого дефекта – 0,25 или 0,5 мкм. Производительность контроля при пороге 0,25мкм – 10 мм²/с. Производительность контроля при пороге 0,5мкм – 20 мм²/с. Диаметр контролируемых пластин – 100 или 150 мм. Дискретность перемещения координатного стола – 5 нм.
Контакты (ФИО, Email, телефон)	Ученый секретарь - Горох Олег Владимирович, тел. 8 (017) 270 21 76, e-mail: itekan@newman.bas-net.by
Подробное описание	Подробное описание (rtf)

К СПИСКУ РЕЗУЛЬТАТОВ И НОВОМУ ПОИСКУ